中圖儀器雙頻激光干涉檢測儀設(shè)備具有完整的自主知識產(chǎn)權(quán)，穩(wěn)頻精度≤0.04ppm，測量精度0.5ppm，測量距離達(dá)80米。以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應(yīng)用于精密機械設(shè)備、精密檢測儀器、三坐標(biāo)、機器人、3d打印設(shè)備、機床、自動化設(shè)備、線性位移平臺等領(lǐng)域的線性測量。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、精度高

sj6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2. 功能廣

可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。

3. 軟件強

友好的人機界面；

豐富的應(yīng)用功能模塊；

向?qū)�式的操作流程�?/p>

簡潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業(yè)專屬模板定制。

中圖儀器雙頻激光干涉檢測儀設(shè)備可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數(shù)控機床、自動化設(shè)備、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進(jìn)行數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機的精度補償。

測量機床直線度

測量機床偏擺角度

回轉(zhuǎn)軸精度測量

中圖儀器雙頻激光干涉檢測儀設(shè)備主要由sj6000激光干涉儀主機、角度鏡組、wr50自動精密轉(zhuǎn)臺、sj6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。測量分辨率可達(dá)0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)wr50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。