名稱 |
內(nèi)容 |
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測量范圍 |
z軸(垂直) |
160μm |
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x軸(水平) |
17.5mm |
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分辨率 |
z軸(垂直) |
0.01μm/±20μm |
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0.02μm/±40μm |
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0.04μm/±80μm |
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測量項目 |
參數(shù) |
ra、rq、rz、rt |
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標(biāo)準(zhǔn) |
iso、gb |
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濾波器 |
rc,pc-rc,gauss,d-p |
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取樣長度(lr) |
0.25,0.8,2.5 (mm) |
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評定長度(ln) |
ln= lr×n n=5 |
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傳感器 |
測量原理 |
位移式差動電感 |
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觸針 |
天然金剛石,90錐角,5μm針尖半徑 |
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測力 |
<4mn |
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導(dǎo)頭 |
紅寶石,滑行方向半徑40mm |
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滑行速度 |
lr=0.25, vt=0.135mm/s |
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lr=0.8, vt=0. 5mm/s |
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lr=2. 5, vt=1mm/s |
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返回 vt=1mm/s |
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示值誤差 |
不大于±10% |
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示值變動性 |
不大于6% |
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電源 |
內(nèi)置鋰離子充電電池,用8.4v,1000ma充電器充電 |
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外形尺寸 |
119×47×65mm |
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重量 |
約380g |
采購商 | 商品規(guī)格 | 成交單價(元) | 數(shù)量 | 成交時間 |
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